中信证券研报表示，根据SEMI数据，2025年全球WFE市场规模同比增长12%至1173亿美元；预计2026年、2027年全球WFE市场规模将分别同比增长26%/35%至1478/1995亿美元，其中2027年下游Foundry/逻辑预计占比52%、存储预计占比39%（DRAM和NAND占比分别提升至24%、15%）。考虑到大客户积极的资本开支指引以及扩产计划，头部半导体设备公司将继续受益于强劲的逻辑与存储需求。结合下游市场需求、竞争格局、设备支出强度、公司业绩以及估值情况，重点推荐先进光刻龙头，EUV以及DUV出货量存在上修空间的标的；DRAM领域优势突出，估值相对较低的标的；刻蚀优势领先，NAND收入占比最高的标的；建议关注量检测需求提升，但利润率仍可能存在短期逆风因素的标的。
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